特性:无色无味气体
核心用途:
· 半导体:离子注入磷源,调控硅片导电性
· 精细化工:高效氟化剂,用于含氟医药/农药等精细化学品合成
氟代碳酸乙烯酯(FEC)电池级 3N5
四氟化碳(CF₄)电子级 5N5
六氟磷酸锂(LiPF₆)电池级 3N5
二氟磷酸锂(LiPO₂F₂)电池级 3N
无水氟化氢(AHF)工业级 3N
有水氟化氢(HF)电子级(金属杂质 <10 ppt)
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