特性:无色无味,极强化学惰性
核心用途:
· 半导体:等离子蚀刻硅/二氧化硅,精准构建芯片电路
· 光伏:硅片表面纹理化,提升光吸收效率
氟代碳酸乙烯酯(FEC)电池级 3N5
三氟化磷(PF₃)电子级 4N
六氟磷酸锂(LiPF₆)电池级 3N5
二氟磷酸锂(LiPO₂F₂)电池级 3N
无水氟化氢(AHF)工业级 3N
有水氟化氢(HF)电子级(金属杂质 <10 ppt)
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