特性:无色发烟液体,强腐蚀、强酸、易挥发
核心用途:
· 半导体:晶圆清洗、蚀刻、掺杂;含氟特气原料
· 光伏:去除硅片氧化层与杂质,提升表面平整度
· 氟化工:合成含氟精细化学品的基础原料
氟代碳酸乙烯酯(FEC)电池级 3N5
三氟化磷(PF₃)电子级 4N
四氟化碳(CF₄)电子级 5N5
六氟磷酸锂(LiPF₆)电池级 3N5
二氟磷酸锂(LiPO₂F₂)电池级 3N
有水氟化氢(HF)电子级(金属杂质 <10 ppt)
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